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纳米级薄膜工艺突破:新型贴片电阻耐压值提升300%的秘密

文章出处:行业新闻 网责任编辑: 东莞市平尚电子科技有限公司 阅读量: 发表时间:2025-02-13 11:43:12

纳米级薄膜工艺突破:新型贴片电阻耐压值提升300%的秘密

东莞平尚电子科技有限公司改写高压电路设计规则


——平尚电子原子层沉积技术开启高压电路新纪元


ALD镀膜

![ALD镀膜设备工作实景]


2024年第三方检测报告显示:采用纳米薄膜工艺的贴片电阻耐压值突破3kV,较传统工艺提升3倍,填补国内车规级高压电阻技术空白。


行业痛点:传统工艺的物理极限

在电动汽车OBC(车载充电机)、光伏逆变器等高压场景中,0402封装电阻的耐压性能长期受制于:


慢镜头展示击穿对比


电极边缘场强集中(>10<sup>6</sup> V/m)引发介质击穿

晶界缺陷导致漏电流指数级增长(@800V工况)

热应力开裂(>200℃温差循环)


平尚电子通过原子层沉积(ALD)技术重构电阻微观结构,实现耐压性能革命性突破。


三大核心技术突破


1. 三维纳米包覆镀膜

镀层结构:Al<sub>2</sub>O<sub>3</sub>/TiO<sub>2</sub> 交替堆叠(单层厚度0.3nm)

性能提升:

介质击穿场强:从15MV/m提升至45MV/m

漏电流抑制:@1kV时降低至0.1nA(传统工艺10μA)



纳米包覆结构TEM显微照片

(图1:纳米包覆结构TEM显微照片)



2. 梯度掺杂电极技术

材料体系:NiCr-AlN-Mo多层复合结构

关键参数:

电阻温度系数:±25ppm/℃(-55℃~175℃)

抗电迁移能力:10<sup>5</sup> A/cm<sup>2</sup>(IEC 60115标准)



3. 晶界工程优化

采用等离子体辅助晶界钝化工艺

晶粒尺寸从微米级细化至50-80nm

晶界缺陷密度降低92%(EBSD测试结果)


实测数据对比(0402封装/100kΩ/1%)

实测数据对比)


典型应用场景

案例一:电动汽车800V快充模块

挑战:传统电阻在650V时失效率>5%


平尚方案

采用PSH-HV系列纳米薄膜电阻

实测耐压值:3500V(持续1分钟无击穿)

模块体积缩小40%,效率提升至98.7%


平尚科技文章lgo


案例二:光伏组串式逆变器

痛点:1500V系统电弧检测误触发

解决效果:

漏电流<5μA(EN 50530标准)

MTBF(平均无故障时间)突破25年



技术生态布局


1. 设备自主化

联合中微半导体开发国产ALD镀膜设备

镀膜均匀性:±1.5%(优于国际同类设备)


2. 标准制定

主导起草《T/CESA 1205-2025 纳米薄膜贴片电阻技术规范》

通过AEC-Q200 Rev.G、UL 94 V-0认证


3. 产能规划

2025年建成纳米薄膜电阻超级工厂

设计产能:50亿颗/年(高压型号占比60%)


工业1


产业影响与市场前景

成本优势:量产价格仅为进口同类产品65%

供应链安全:关键材料国产化率100%

市场预测:2026年全球高压贴片电阻市场规模达22亿美元(Yole数据)

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